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  • 主營干式真空泵、螺桿真空泵等

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    干式真空泵系列

    江蘇干式真空泵

    • 產品名稱:江蘇干式真空泵
    • 產品分類:干式真空泵系列
    • 公司名稱:卡塞爾機械(浙江)有限公司
    • 聯系方式:135-7576-9127
    • 公司地址:浙江安吉天子湖工業園天子湖大道卡塞爾工業園
    • 添加時間: 2020/11/09
    產品詳情
    詢盤
    干式真空泵(又簡稱干式機械泵)是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內無油或其他工作介質,而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。
    干式真空泵的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:
    1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
    2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
    3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;
    4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
    5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。

    干式真空泵


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